Alarm Pengadaan CO2 Kemurnian Tinggi untuk Proses Pembersihan Superkritis Semikonduktor

Tanda-tanda peringatan telah muncul dalam pengadaan karbon dioksida (CO2) kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses semikonduktor canggih, menurut laporan pada tanggal 26.
Penyebabnya adalah penurunan tajam volume CO2 bahan baku yang dihasilkan, karena tingkat utilisasi yang lebih rendah di pabrik penyulingan minyak dan petrokimia. Produsen dan pemasok semikonduktor masing-masing biasanya menyimpan persediaan sekitar dua minggu, dengan total gabungan sekitar satu bulan. Namun, baru-baru ini, industri percaya bahwa persediaan telah turun di bawah satu bulan.
Menurut industri, Samsung Electronics diperkirakan menggunakan sekitar 1.800 hingga 2.000 ton CO2 kemurnian tinggi per bulan, sementara SK Hynix menggunakan sekitar 600 hingga 700 ton per bulan.
Gangguan produksi di Samsung Electronics dan SK Hynix belum terwujud. Namun, ruang persediaan terus menyusut, dan karena itu perusahaan-perusahaan tersebut mengintensifkan upaya pengadaan mereka, jelas seorang sumber yang mengetahui masalah ini. Bahkan dengan menaikkan harga, sulit untuk mendapatkan volume tambahan.
Seorang pejabat industri gas mengatakan, "Tanpa bahan baku, kami tidak dapat memasok sebanyak yang diinginkan pelanggan," menambahkan bahwa "secara fisik tidak ada cara untuk meningkatkan produksi dalam jangka pendek."
CO2 kemurnian tinggi digunakan dalam jumlah besar dalam proses pembersihan semikonduktor superkritis (超臨界, superkritis). Superkritis mengacu pada keadaan fisik yang muncul ketika suatu zat melebihi suhu dan tekanan kritisnya. Ketika CO2 cair memasuki keadaan superkritis, perbedaan antara cair dan gas menghilang dan ia mengambil sifat dari kedua keadaan secara bersamaan. Dengan kepadatan yang sebanding dengan cairan, ia dengan mudah melarutkan residu dan kontaminan pada wafer, sementara sifatnya yang seperti gas memungkinkannya mencapai jauh ke dalam pola halus untuk menghilangkan kotoran. Semikonduktor proses canggih memiliki jarak pola yang sempit dan tinggi langkah yang besar, sehingga mereka menjalani proses pembersihan superkritis.
CO2 bahan baku adalah produk sampingan dari proses seperti penyulingan minyak, petrokimia, dan produksi hidrogen. Ketidakstabilan pasokan dan permintaan minyak mentah yang berasal dari situasi yang melibatkan Amerika Serikat, Iran, dan Timur Tengah, dan penurunan tingkat utilisasi pabrik petrokimia domestik yang diakibatkannya, dipandang telah berdampak besar pada kekurangan CO2 bahan baku.
Harga CO2 cair dilaporkan naik sekitar 20% dibandingkan dengan awal tahun. Industri memandang sangat mungkin bahwa krisis pasokan akan berlanjut hingga akhir tahun.
Pemasok utama CO2 kemurnian tinggi domestik yang disebutkan termasuk Taekyung Chemical, Sundo Chemical, Dongkwang Chemical, dan SK Air Plus. Taekyung Chemical dikenal sebagai pemain terkemuka.
Seorang pakar material semikonduktor mengatakan, "Setelah helium, asam fluorida anhidrat, dan PGMEA, sekarang CO2 juga, risiko minyak mentah Timur Tengah berulang kali merembes ke ruang material semikonduktor," mencatat bahwa "itu berarti rantai pasokan material terkait erat dengan produk sampingan dari penyulingan minyak dan petrokimia."