Samsung Electronics тестує внутрішні маски EUV (101490) компанії S&S Tech у своєму масовому виробничому середовищі для 4-нм технології. Це вперше, коли ці маски були впроваджені на реальній виробничій лінії

Мета — зменшити залежність від японської Hoya, посилити стійкість ланцюга постачання та отримати більше цінового впливу
Зазначається, що Samsung надає S&S Tech зворотний зв’язок для покращення якості, тоді як S&S Tech вже інвестувала значні кошти у обладнання для інспекції та нову фабрику в Йонгіні для підтримки цієї ініціативи. Якщо локалізація вдасться, Samsung зможе економити десятки мільярдів вон щороку та скоротити час виготовлення, хоча масові замовлення все ще можуть зайняти від шести місяців до понад року
«Я розумію, що маски S&S Tech використовуються у процесі EUV, який є відносно менш вимогливим навіть у межах 4-нм вузла, — сказав інсайдер галузі. Той факт, що вони тестують зразки на реальній виробничій лінії, свідчить про сильну прихильність до локалізації», — додав інсайдер. Він зазначив, що Samsung прагне зменшити свою залежність від японської Hoya і з часом забезпечити більшу цінову силу
Порожня маска — це базовий матеріал для фотомасок, які використовуються для перенесення схемних зразків на пластини під час виробництва напівпровідників. Зазвичай її виготовляють шляхом нанесення тонкого шару металу або сполуки на високочистий скляний підклад. Потім виробники чіпів гравірують схематичні зразки на порожній масці для створення кінцевої фотомаски
Маски EUV значно відрізняються від традиційних продуктів глибокого ультрафіолету, або DUV. DUV маски є пропускними, тобто ультрафіолетове світло проходить через підкладку для формування зразків на пластині. Маски EUV, навпаки, є відбивними, тобто екстремальне ультрафіолетове світло відбивається, а не проходить. Вони виготовляються шляхом чергування десятків шарів, близько 40 пар, молібдену та кремнію на скляній підкладці. Через коротку довжину хвилі EUV навіть дуже малі дефекти можуть бути критичними, що робить виробництво та інспекцію набагато більш вимогливими
На початку минулого року S&S Tech інвестувала понад 40 мільярдів вон у обладнання для інспекції японської компанії Lasertec для своєї лінії масок EUV. Згідно з повідомленнями, обладнання було встановлено на новій фабриці в Йонгіні, яку компанія завершила у жовтні минулого року
Samsung Electronics наразі імпортує більшу частину своїх масок EUV з японської Hoya. Однак у минулому вона кілька разів стикалася з проблемами закупівель через збої, такі як землетруси в Японії. Хоча Hoya розширила виробництво в Сінгапурі для вирішення цих проблем, у напівпровідниковій галузі залишаються занепокоєння
Маски EUV коштують десятки мільйонів вон за лист, тоді як висококласні версії можуть перевищувати 100 мільйонів вон. Згідно з повідомленнями, Samsung очікує щорічної економії в десятки мільярдів вон та скорочення часу виготовлення, якщо S&S Tech зможе успішно локалізувати постачання
«Я розумію, що S&S Tech зараз працює над покращеннями для зменшення утворення частинок після отримання зворотного зв’язку від Samsung Electronics, — сказав галузевий офіційний. — Може знадобитися від шести місяців до понад року, перш ніж будуть видані масові виробничі замовлення».