Une entreprise soutenue par l’État de Shanghai commence à produire des équipements de lithographie DUV nationaux et prévoit de livrer environ 5 unités cette année.

D’après The Information, une entreprise chinoise soutenue par l’État de Shanghai a commencé à fabriquer des équipements domestiques de lithographie DUV en immersion, avec pour projet de produire environ 5 unités en 2026, puis d’en passer à environ 20 d’ici 2027. Le premier lot sera livré à de grands fabricants de plaquettes (wafers), dont SMIC, Huahong Semiconductor et Longsine Technologies, sous réserve de la validation de la précision, de la stabilité et de la compatibilité avec leurs procédés. La plupart des composants sont fournis localement, même si certaines pièces critiques dépendent encore de fournisseurs japonais. Les performances de l’équipement et la qualité de fabrication restent inférieures à celles des offres d’ASML ; à titre de comparaison, ASML a expédié environ 131 outils de lithographie DUV en immersion en 2025.
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